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回来说DUV光刻机为什么必须用氖气，而且用量还那么大。DUV光刻机，也叫深紫外光刻机，使用准分子激光作为光源。现在常用的光源有248nm的KrF准分子激光器和193nm的ArF准分子激光器。其中，除了**的EUV光刻机以外，大家常说的浸没式DUV光刻机，使用的光源就是ArF准分子激光器。其实，准分子激光器能发光的关键，就是利用电极放电激发气体生成不稳定的准分子，然后产生激光。之所以叫准分子，是因为那是在正常情况下无法稳定存在的分子，比如ArF，它的存在并不符合化学常识，也极其不稳定，百万分之一秒都不到的时间内就会消失。这种分子含有非常高的能量，分解的过程释放出特定波长的紫外光。ArF分解释放193nm紫外光，KrF分解释放248nm紫外光，XeCl分解释放308nm紫外光。激光波长越短，分辨率越高，所以现在芯片产业普遍使用紫外激光来做光源。其中DUV光刻机的光源基本上都是准分子激光光源。从字面上来看，这些准分子激光器好像跟氖气都没有什么关系。但是，氖气却是制作光源必不可少的元素。氖气材料，就选尚澜氦业（天津）科技有限公司，让您满意，欢迎您的来电！浙江99.999%氖气的价格

了解化学的朋友都知道，氟气是腐蚀性极强的化学物质，能腐蚀绝大多数不含氟的化学物质。同时，面对都能把稀有气体电离的强电场，一般的化学物质很容易被电离，也就很容易把电极给短路了。要想让稀有气体和氟气的混合气体能顺利产生准分子，又不至于把电极给短路掉，必须加入足够量的缓冲气体。这种缓冲气体，必须是比氩气等稀有气体还要更稳定的气体，那就只剩下氦气和氖气两种了。由于在缓冲性能上氖气有独特的优势，所以绝大多数的准分子激光器都用氖气做缓冲气体。不仅ArF准分子激光器是这样，KrF准分子激光器、XeCl准分子激光器等所使用的缓冲气体也往往是氖气。这里的缓冲气体，添加量要比反应气体还要多很多，比如ArF准分子激光器中，缓冲气体的含量达到97%左右。也就是虽然名字叫ArF准分子激光，氖气的含量却远远高于Ar气和氟气。所以你就可以理解，同样是稀有气体，为什么大家都在谈氖气危机，却很少谈氩气危机或其他稀有气体危机。广西氖气厂家现货尚澜氦业（天津）科技有限公司是一家专业提供氖气材料的公司，期待您的光临！

氖气用途之氖的低温工程应用众所周知，氦的液体温度范围为2×10-3—5.20K，氢的液体温度范围为14.2—33.0K，氖的液体温度范围为24.5—44.40K。由于氖具有化学惰性，且蒸发潜热大（按同体积液体计，液氖制冷能为液氢的2.7倍），因此，在25-40K内，经常用氖代替氢作为实验的安全冷却剂。在液氖上部抽出蒸气很容易使液体氖变为固体氖，因为氖的三相点温度只比它的标准沸点低约2.5K，在把氖作为制冷剂应用时，利用固体氖的熔化潜热可使氖的有效产冷量增加20%。为了能够把大空间快速抽成真空状态，经常使用液氦低温泵，若真空要求不高，也可以采用液氖低温泵。用氖做介质制成的封闭循环式微型制冷机，可被用于导弹的红外检测器。在高能粒子检测和研究用的气泡室中经常使用液氖

除氦气外，氖也可以用于配制深水作业用的呼吸混合气。通常，在潜水员处于深水高压环境作业时，若采用普通压缩空气供氧，不但呼吸阻力高，而且压缩空气中的氮会部分溶解在血液中，当水深在40m以下时，会产生***的麻醉作用，在80m左右，生理机能基本丧失，人体衰竭。由于轻氦族气体（如氦、氖）对人体的麻醉能力很小或完全没有麻醉能力，可以用它们来代替氮配制潜水员深海作业用呼吸混合气。氖-氧或氦-氧呼吸混合气由于有较低的密度和黏度，使压力易于释放，呼吸阻力减小，能有效地降低潜水员的体能消耗。对于氦-氧呼吸混合气，由于声速较高，声音频率改变大，存在深水通讯问题。再者，氦的执导率高，增加了人仃热损失率，以至于常常必须使用有效的潜水衣和呼吸气预热器。在这方面，氖-氧呼吸混合气比氦-氧呼吸气好，因为它具有声音畸变小和传热性差的优点。氖-氧呼吸混合气适用于100-300m深水作业，超过300m，氖的密度增大，必须使用氦-氧呼吸混合气。氦-氧呼吸气已成功地在深海潜水作业，无论水深水浅，普遍采用氦-氧呼吸混合气。为了克服各自的缺陷和不足，正在研究采用氖、氦、氧按不同比例配制深海潜水呼吸气的可能。尚澜氦业（天津）科技有限公司为您提供氖气材料，有需要可以联系我司哦！

就是这么一类重要的特种混合气体，乌克兰就供应了全球超过70%的氖气需求，40%的氪气需求以及30%的氙气需求，尤其是对氖气的供应几乎达到了一个垄断的程度。2015年乌克兰危机期间，氖气价格从年初的每立方米750元迅速推涨至7月中旬的25,000元历史顶点，氖气也成了2015年全球只为火爆的气体。报道显示，受俄罗斯和乌克兰突然影响，乌克兰的两家主要氖气Ingas和Cryoin供应商日前已停止运营。数据估算，上述两家供应全球约有45%至54%的半导体级氖气；去年全球用于芯片生产的氖气消费量达到约540公吨。尚澜氦业（天津）科技有限公司是一家专业提供氖气材料的公司，欢迎您的来电！四川氖气联系方式

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